為了解決四氟薄膜難以粘附的問題,通常從表面改性和發(fā)展新型粘合劑兩個(gè)方面來提高其附著力。常見的處理方法是使用特殊的含氟粘合劑或鈉萘溶液對(duì)表面進(jìn)行改性,但前者的使用成本高,普遍性不夠好;后者對(duì)環(huán)保和人身不友好,因?yàn)樗菰诨瘜W(xué)溶液中。
此外,近年來,等離子體表面處理技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。即將處理的四氟薄膜放置在真空腔內(nèi),然后關(guān)閉真空腔內(nèi)的門進(jìn)行真空抽真空,通入一定比例的工藝氣體。真空度穩(wěn)定后,打開等離子體發(fā)生器放電。四氟薄膜可根據(jù)需要設(shè)定功率和處理時(shí)間。等離子體放電后,可取出等離子體表面處理后的四氟薄膜,進(jìn)行180度剝離力測(cè)試。
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